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鄭科探高校半導體小型磁控濺射儀
內(nèi)容簡介 靶材濺射,磁控濺射,離子濺射, 濺射鍍膜
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小實驗室精密小型濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
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