，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對(duì)熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會(huì)在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3～5mm的細(xì)頸，用于消除高溫溶液對(duì)籽晶的強(qiáng)烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯(cuò)，這個(gè)過程就是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個(gè)過程稱為放肩；接著，突然提高拉速進(jìn)行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進(jìn)入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時(shí)，再將晶體逐漸縮小而形成一個(gè)尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個(gè)單晶拉制過程就基本完成，進(jìn)行一定的保溫冷卻后就可以取出。

的多晶硅定向凝固技術(shù);的爐膛材質(zhì)和高氣密封性爐腔,為多晶硅生長提供優(yōu)良條件;隔熱籠同步提升技術(shù)，垂直方向溫度梯度和固液界面水平；方便形成垂直溫度梯度的熱場設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)晶體快速生長；特生長期維持副泵設(shè)計(jì)，大大降低真空系統(tǒng)能耗，延 長主泵壽命，減少使用維護(hù)成本； 采用固化碳?xì)皱e(cuò)位設(shè)計(jì)，減少熱損耗，節(jié)能；隔熱籠運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用進(jìn)口驅(qū)動(dòng)器+伺服電機(jī)+進(jìn)口滾珠絲桿副，控制精度高，運(yùn)行平穩(wěn)可靠下爐蓋運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用直流電機(jī)控制、穩(wěn)定性好，并配有丟步檢測保護(hù)裝置；工藝過程計(jì)算機(jī)全自動(dòng)智能化控制，圖形化顯示，斷偶等“經(jīng)驗(yàn)”處理程序，提高鑄錠成功率；可靠的安全性能：國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的安全性防護(hù)設(shè)計(jì)，采用四重防硅液泄漏安全防護(hù)技術(shù)，確保防止意外的發(fā)生； UPS電源，軟件、硬件多重安全保護(hù)，故障報(bào)警和安全聯(lián)鎖,設(shè)備可靠性高；整機(jī)模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，安裝快捷，設(shè)備拓展方便，可維修性好；快捷方便的本土技術(shù)服務(wù)，充足的零備件供應(yīng)。

傳統(tǒng)熱場設(shè)計(jì)只能提升隔熱籠體通過熱交換臺(tái)被動(dòng)散熱，使硅料熔化后期石英坩堝底部和側(cè)面散熱速率相差較大，無法籽晶熔化一致，獲得較好的籽晶熔化條件。3)傳統(tǒng)裝置采用隔熱籠提升技術(shù)輻射散熱，造成長晶階段坩堝側(cè)面熱量散失較多，靠近側(cè)壁的熔體過冷度較大，極易在坩堝側(cè)壁形成大量晶核，致使硅錠四周出現(xiàn)大面積多晶成分。